非接觸式激光測量由激光器產(chǎn)生線型光束，以一定的傾角投射到待測量目標(biāo)上，由于待測與基板存在高度差，此時(shí)觀測到的目標(biāo)和基板上的激光束相應(yīng)出現(xiàn)斷續(xù)落差，根據(jù)三角函數(shù)關(guān)系可以用觀測到的落差計(jì)算出待測目標(biāo)與周圍基板存在高度差，從而實(shí)現(xiàn)非接觸式的快速測量。

　　

　　非接觸式激光測量采用非接觸式測量材料應(yīng)變，測量精度高。使用高速激光掃描儀測度試樣上反射帶之間的空間。標(biāo)距根據(jù)用戶要求制定。從而可以實(shí)現(xiàn)小標(biāo)距進(jìn)行高延伸量測量。分辨率高從而也可以進(jìn)行小應(yīng)變的精確測量。該掃描光束始終保持與試樣垂直，這樣減小了通過觀察窗觀察產(chǎn)生的誤差，同時(shí)，將與試樣之間的距離靈敏度降到低點(diǎn)。由于該測量的是反射光,在試樣背面不需要接收器。

　　

　　為了驗(yàn)證非接觸式激光測量的正確性，還對樣品進(jìn)行了同步熱偶測溫。在激光入射點(diǎn)1cm處的玻璃樣品表面緊貼另一K型熱電偶，熱偶合金焊接頭用銀漿粘在玻璃表面。這樣既可以增加接頭與玻璃表面的熱接觸面積，增加熱傳導(dǎo)，又可以反射到達(dá)接頭表面的熱輻射，減小熱偶本身因吸收輻射升溫引起的測量偏差。熱電偶的導(dǎo)線通過真空密封接線口接出真空腔室外。熱偶溫度采用電壓測量端口測量，并與激光干涉探頭數(shù)據(jù)同步記錄下來。熱偶的溫度-電壓關(guān)系通過純水的冰沸點(diǎn)校準(zhǔn)。